Тел.: +7 (985) 723-13-33
mail: info@aperon.ru
г. Москва, Зеленоград
Сконструировано для вращения заслонкой в вакуумной камере реактора магнетронного напыления тонких плёнок.
Магнитожидкостное уплотнение обеспечивает лёгкий поворот заслонки сохраняя высокую степень герметичности соединения.
Остаточное давление в камере реактора не хуже 10-6 Па.
Натекание по гелию не более 10-12 м3Па/с.
Прикрепленный файл | Размер |
---|---|
AP_14.000.00VO_Vvod_vrashcheniya.pdf | 40.22 кб |