Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00

Привод вращения охлаждаемый с магнитожидкостным уплотнением АП 41.000.00 (конструкторская документация ТВРМ.305314.001) предназначен для вращения подложкодержателя установки напыления методом вакуумного термического испарения.

Особенностью конструкции данного привода является полый вал, внутри которого циркулирует охлаждающая жидкость, таким образом теплоотвод осуществляется непосредственно от торца вала, расположенного в вакуумной части камеры. К торцу вала винтовым соединением крепится подложкодержатель. Реализованное решение позволяет осуществлять эффективный теплоотвод от подложкодержателя, тем самым предупреждая перегрев как самого напыляемого образца, так и вакуумного узла в целом. Герметичность узла вращения обеспечивается встроенным в конструкцию привода магнитожидкостным уплотнением.

Характеристики привода вакуумного:

Глубина вакуума не хуже 10^-6 Па

Натекание по гелию не более 10^-12 м³Па/c 

Частота вращения вала до 100 об/мин

Температурный диапазон эксплуатации, ⁰С: от 5 до 150

Стандарт присоединительного фланца ISO160

Полные характеристики вакуумного охлаждаемого привода по запросу.