Тел.: +7 (985) 723-13-33
mail: info@aperon.ru
г. Москва, Зеленоград
Разработан для передачи вращения от двигателя на планетарную карусель вакуумной напылительной установки. Поскольку во время напыления карусель с подложкодержателями нагревается до значительных температур - корпус ввода вращения выполнен водоохлаждаемым, способ разграничения сред - магнитожидкостное уплотнение.
Характеристики охлаждаемого ввода вращения с магнитожидкостным уплотнением:
- частота вращения 5 об/мин;
- температура в области МЖУ, 120 0С;
- радиальная нагрузка на вал, до 1000Н;
- натекание по гелию через магнитожидкостное уплотнение не более 10-12 м3Па/с;
- остаточное давление в вакуумной камере, не хуже 10-5 Па.
- технологические газы в камере: азот, аргон, кислород, водород.
Прикрепленный файл | Размер |
---|---|
AP_45.000.00VO_Vvod_vrashcheniya.pdf | 60.73 кб |